- RV系列雙級(jí)旋片泵
- E2M系列雙級(jí)旋片泵
- nES系列單級(jí)旋片泵
- ES系列單級(jí)旋片泵
- nXDS系列干式渦旋泵
- nXLi系列干式真空泵
- EDC系列爪式真空泵
- EOSi系列噴油螺桿泵
- EH系列羅茨真空泵
- EDS系列干式螺桿泵
- GXS系列干式螺桿泵
- GV系列爪式真空泵
- T-Station渦輪分子泵小車
- STP系列渦輪分子泵
- Stokes滑閥泵
- Stokes 6羅茨泵
- D-LAB系列隔膜真空泵
- nEXPT系列分子泵站
- nEXT系列渦輪分子泵
- EDP系列化工爪式干泵
- CXS系列化工螺桿真空泵
- CDX系列化工螺桿真空泵
- HT系列油蒸汽擴(kuò)散泵
- iH系列半導(dǎo)體真空干泵
- iXH系列半導(dǎo)體真空泵
- iXL系列半導(dǎo)體真空干泵
- EPX系列半導(dǎo)體真空干泵
- GX系列半導(dǎo)體干式泵
iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)樹(shù)立了新標(biāo)準(zhǔn)。效率提高的同時(shí)降低了運(yùn)行成本，并在整個(gè)壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)的泵送能力。
iGX 干泵包括以太網(wǎng)連接功能，允許通過(guò)網(wǎng)頁(yè)查看主要數(shù)據(jù)，另外還包括一套的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng)，可泵持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載的工藝。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶對(duì) iGX 干泵進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠(yuǎn)程在內(nèi)的多種安裝選項(xiàng)。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
氧化物腐蝕
硅腐蝕
金屬腐蝕
功能和優(yōu)勢(shì)
低運(yùn)行成本
與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本多可降低 50%
無(wú)需預(yù)防性維護(hù)
靈活的安裝選項(xiàng)
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠(yuǎn)程
可以改進(jìn)工具吞吐量
可用的快的負(fù)載鎖定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環(huán)境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
參數(shù)
峰值速度
620 m3h-1
365 cfm
10333 l min-1
極限壓力
7.00E-04 mbar
5.25E-04 Torr
0.07 Pa
700 Torr 排氣壓力下的極限
極限
1.6 kW
AUC（有源設(shè)備控制器）
0.05 kW
水入口
2 slm
氮
4 或 14 slm
占地面積（不包括排氣裝置）
0.20 m2
重量
220 kg
進(jìn)氣口連接
ISO100
連接
NW25
極限噪音
< 55 dB(A)
需要恒流閥附件。
iGX100L 200 - 230V 50/60Hz A54610958
iGX100L 380 - 460V 50/60Hz A54610959
iGX100N 200 - 230V 50/60Hz A54611958
iGX100N 380 - 460V 50/60Hz A54611959
iGX100M 200 - 230V 50/60Hz A54612958
iGX100M 380 - 460V 50/60Hz A54612959
iGX600L 200 - 230V 50/60Hz A54630958
iGX600L 380 - 460V 50/60Hz A54630959
iGX600N 200 - 230V 50/60Hz A54631958
iGX600N 380 - 460V 50/60Hz A54631959
iGX1000M 200 - 230V 50/60Hz A54632958
iGX1000M 380 - 460V 50/60Hz A54632959
iGX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54681958
iGX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54681959
iGX100MTI 200 - 230V 50/60Hz A54648958
