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- EPX系列半導(dǎo)體真空干泵
- GX系列半導(dǎo)體干式泵
新的緊湊型EPX180高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。EPX180使用了的保護(hù)機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于7x10-5Torr的極限壓力。
模塊化EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的IPX系列，可提供的性能，與IPX相比，包裝重量輕了20%、體積小了 30% 且功率降低了40%。
EPX180L 愛德華半導(dǎo)體高真空干泵
EPX系列干式真空泵支持清潔和輕型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點站應(yīng)用。
EPX系列干式真空泵以極輕、極小的封裝提供工具上泵送功能，可實現(xiàn)異常清潔的真空。EPX半導(dǎo)體高真空干泵采用已獲的單軸Holweck®分級機構(gòu)，能夠從大氣壓抽空到小于7x10-7Torr的極限壓力。
EPX真空泵能夠以模塊化組件提供增強的性能，既可集成到制程工具，又可以遠(yuǎn)程安裝。此外，通過集成的 MicroTIM電子模塊還可以與制程工具輕松建立通信連接。EPX真空干泵系統(tǒng)在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作，增壓室內(nèi)無潤滑或密封液。這樣可以泵送系統(tǒng)清潔，不會因為系統(tǒng)的排空而使油或液體回流到系統(tǒng)中。
EPX干泵的定子和封閉馬達(dá)通過集成化水冷回路進(jìn)行冷卻。因此，EPX真空泵適合在不允許使用風(fēng)扇的潔凈室環(huán)境下使用。冷卻水供應(yīng)和回水管通過水接頭（由客戶指定）連接到泵。冷卻水的提供必須與環(huán)境條件（濕度和溫度）相當(dāng)，以便不會達(dá)到結(jié)。
泵裝有一個EMC供應(yīng)過濾器和一個變換器驅(qū)動，該驅(qū)動可提供和控制泵馬達(dá)的電源。前蓋上的LED標(biāo)識EPX真空泵的狀態(tài)。馬達(dá)速度取決于泵入口處的壓力。當(dāng)泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時，馬達(dá)會加速到某個速度，該速度受可以由變換器驅(qū)動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低，馬達(dá)速度會加快，直至該速度終達(dá)到其預(yù)定的大速度。如果入口處的壓力增大，則馬達(dá)速度會再次減慢。
EPX L系列的泵不能進(jìn)行手動操作；這些泵必須通過外部控制設(shè)備進(jìn)行控制和監(jiān)視，而控制設(shè)備必須通過工具接口模塊(TIM)連接到 EPX真空泵。
EPX真空泵由四個振動隔離器進(jìn)行支持。
泵保護(hù)傳感器可在出現(xiàn)故障狀態(tài)時自動關(guān)閉泵。
EPX180L 愛德華半導(dǎo)體高真空干泵應(yīng)用
EPX系列涵蓋的應(yīng)用，從水處理到中度工作負(fù)載的制程。EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負(fù)荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應(yīng)用。
EPX180L 愛德華半導(dǎo)體高真空干泵功能和優(yōu)勢
緊湊的占地面積–作為可用的工具上泵之一，EPX高真空干泵節(jié)省了占地面積。EPX可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。
低運行成本-EPX僅需要1.4 kW的功率和整合空閑模式，從而可大化功率效率。
的保護(hù)機械裝置–EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力，并可以在進(jìn)氣口壓力下連續(xù)工作。
清潔機械裝置–傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX高真空泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
–EPX高真空泵基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的IPX，具有13年的MTBFp(SEMI E10)，大約每5年維修一次，大程度地延長了泵的使用壽命。
可兼容的網(wǎng)絡(luò)-EPX系列干泵配有終用戶控制，可以連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制。
EPX180L 愛德華半導(dǎo)體高真空干泵數(shù)據(jù)
峰值速度
170 m3h-1
105 ft3min-1
2835 lmin-1
極限真空
<1 x 104 mbar
<7.5 x 10-5 Torr
<1 x 10-2 Pa
預(yù)熱時間（達(dá)到標(biāo)稱性能）
30 分鐘
入口法蘭
ISO63
法蘭
NW25
噪音
<59 dB(A)
水接頭
3/8 in 快速
冷卻水流速
2 lm-1
冷卻水溫度
15 – 35°C
電源供給
200/208 V，50/60 Hz 三相
極限功率
1.4 kW
電機額定功率
3.0 kW
TIM
C3
重量
43.5 kg
