概述
MF100AE 油霧過濾器適用于從 E2M28 到 E2M80 之間的泵。在 DOP 測(cè)試中（預(yù)加濕過濾器；使用干濾芯時(shí)，為 99.5%），其效率達(dá) 99.85%。利用油位觀察窗，可輕松監(jiān)視油霧過濾器的狀態(tài)。

MF100AE 是 MF100 的一種型號(hào)，適用于腐蝕性氣體和蒸汽，在處理有毒物質(zhì)時(shí)可提高性。在 DOP 測(cè)試中（預(yù)加濕；使用干濾芯時(shí)，為 98.4%），其效率達(dá) 99.1%。此型號(hào)測(cè)得的泄漏值為 1 × 10-4 mbar l s-1 / 3.8 x 10-3 Torr。濾芯、觀察窗和密封件均能防化學(xué)攻擊。MF100AE 配有丙烯酸樹脂觀察窗（適用于氟化制程）；該過濾器還配備了玻璃觀察窗（適用于氯化制程）。
  
產(chǎn)品附帶兩個(gè) NW25“C”形夾、NW25 彎管、兩個(gè) NW25 定心環(huán)和 O 型圈、螺栓、墊圈、安裝托架和螺柱

訂貨號(hào)：A46211000