產(chǎn)品
- RV系列雙級旋片泵
- E2M系列雙級旋片泵
- nES系列單級旋片泵
- ES系列單級旋片泵
- nXDS系列干式渦旋泵
- nXLi系列干式真空泵
- EDC系列爪式真空泵
- EOSi系列噴油螺桿泵
- EH系列羅茨真空泵
- EDS系列干式螺桿泵
- GXS系列干式螺桿泵
- GV系列爪式真空泵
- T-Station渦輪分子泵小車
- STP系列渦輪分子泵
- Stokes滑閥泵
- Stokes 6羅茨泵
- D-LAB系列隔膜真空泵
- nEXPT系列分子泵站
- nEXT系列渦輪分子泵
- EDP系列化工爪式干泵
- CXS系列化工螺桿真空泵
- CDX系列化工螺桿真空泵
- HT系列油蒸汽擴(kuò)散泵
- iH系列半導(dǎo)體真空干泵
- iXH系列半導(dǎo)體真空泵
- iXL系列半導(dǎo)體真空干泵
- EPX系列半導(dǎo)體真空干泵
- GX系列半導(dǎo)體干式泵
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
B90000200 BGV手動真空插板閥 ISO63
B90000200 BGV手動真空插板閥 ISO63
詳情介紹：
概述
BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成，用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計的，可以使泵在前級管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行，從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的泵具有高的性和正常運(yùn)行時間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar（）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的壓力，并可承受閥密封兩側(cè) 1 bar 的差壓。
雖然 BGV 閥主要用于隔離半導(dǎo)體工廠地下室內(nèi)的泵，但這些閥也適用于開啟時需要 1 bar 差壓并容許 20000 次循環(huán)的其他應(yīng)用場合。
功能和優(yōu)勢
與密封先驅(qū) VAT 合作。
不銹鋼結(jié)構(gòu)，采用獲得的設(shè)計，使用
簡單的無油脂機(jī)構(gòu)大程度減少了多塵制程中因微粒導(dǎo)致的損壞
可以在 1 bar 差壓下運(yùn)行，因此無需進(jìn)行壓力平衡
維修方便，只需要的易耗品，低運(yùn)行成本
表面光滑，易于清潔
提供時已安裝螺線管和電線，便于訂購和安裝
BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成，用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計的，可以使泵在前級管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行，從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的泵具有高的性和正常運(yùn)行時間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar（）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的壓力，并可承受閥密封兩側(cè) 1 bar 的差壓。
雖然 BGV 閥主要用于隔離半導(dǎo)體工廠地下室內(nèi)的泵，但這些閥也適用于開啟時需要 1 bar 差壓并容許 20000 次循環(huán)的其他應(yīng)用場合。
功能和優(yōu)勢
與密封先驅(qū) VAT 合作。
不銹鋼結(jié)構(gòu)，采用獲得的設(shè)計，使用
簡單的無油脂機(jī)構(gòu)大程度減少了多塵制程中因微粒導(dǎo)致的損壞
可以在 1 bar 差壓下運(yùn)行，因此無需進(jìn)行壓力平衡
維修方便，只需要的易耗品，低運(yùn)行成本
表面光滑，易于清潔
提供時已安裝螺線管和電線，便于訂購和安裝
即插即用，在使用可選的 BGV TIM 接口電纜的情況下與 Edwards 半導(dǎo)體干泵兼容。
數(shù)據(jù)
| 泄漏值 |
|
| 殼體 | < 1 x 10-9 mbar ls-1 |
| 閥座 | < 1 x 10-7 mbar ls-1 |
| 壓力范圍 | 1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara |
| 插板上的壓差 | 1.2 bar（在任一方向上） |
| 打開時的壓差 | 1 bar |
| **檢修前的循環(huán)數(shù) | 5, 000 |
| 大工作溫度 |
|
| 閥體 | 120 °C |
| 手動執(zhí)行器 | 80 °C |
| 氣動執(zhí)行器 | 80 °C |
| 位置指示器 | 60 °C |
| 螺線管閥 | 50 °C |
| 分子流電導(dǎo) |
|
| NW50 | 300 ls-1 |
| ISO63 | 400 ls-1 |
| ISO80 | 1100 ls-1 |
| ISO100 | 1700 ls-1 |
| ISO160 | 4600 ls-1 |
| 重量 |
|
| NW50 | 3.3 kg (7.3 lbs) |
| ISO63 | 6.6 kg (14.6 lbs) |
| ISO80 | 7.0 kg (15.4 lbs) |
| ISO100 | 8.5 kg (18.7 lbs) |
| ISO160 | 17.7 kg (39.0 lbs) |
| 構(gòu)造材料： |
|
| 殼體 | AISI 304 不銹鋼 |
| 閥蓋 | 黑色陽極化鋁 |
| 插板 | AISI 304 不銹鋼 |
| 助滑器 | PEEK |
| 波紋管 | AISI 633 不銹鋼 |
| 密封件 | 氟橡膠 |
| 插板固定螺釘 | A2 不銹鋼 Ni-teflon 鍍膜 |
| 手柄 | 強(qiáng)化聚酰胺 |
| 手動閥 |
|
| 進(jìn)行開/關(guān)操作的手柄轉(zhuǎn)動方式 |
|
| NW50 | 22 |
| ISO63 | 27 |
| ISO80 | 33 |
| ISO100 | 39 |
| ISO160 | 41 |
