A30205945 EH500 HC IE3 EU/CN 50HZ 愛德華羅茨真空泵概述

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度。

A30205945 EH500 HC IE3 EU/CN 50HZ 愛德華羅茨真空泵應(yīng)用

半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO₂ 激光

A30205945 EH500 HC IE3 EU/CN 50HZ 愛德華羅茨真空泵功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要過 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的應(yīng)用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的性。

EH 泵具有的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行。

牢靠且防腐蝕。

的軸封，處理艙中不會出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經(jīng)驗證的軸封布置可沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。

軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是設(shè)備的制造商所需要的。

	EH500
排量（工作容積）	505 m3h-1 / 300 ft3min-1
使用前級泵時的抽速	350 m3h-1 / 206 ft3min-1
泵的壓力差	0-110 mbar/0-83 Torr
進氣口連接	ISO100
連接	ISO63
轉(zhuǎn)速	0-2900 rpm
連續(xù)進氣口工作壓力	0-1000 mbar/0-760 Torr
大壓力	1000 mbar/760 Torr
的前級泵	GV80，E2M80
電機功率
碳氫化合物	2.2 kW/3 hp
PFPE	1.5 kW/2 hp
ATEX	2.2 kW
防爆	3 hp
環(huán)境溫度范圍
工作	5 至 40°C/40 至 104°F
存儲	-10 至 80°C/14 至 176°F
大工作濕度	90% RH
用油	Ultragrade 20
油容量
齒輪箱
聯(lián)軸器蓋	1.5 l/1.6 qt
軸封儲油器	0.125 l/0.25 qt
重量	74 kg/163 lb

A30205945 EH500 HC IE3 EU/CN 50HZ 愛德華羅茨真空泵價格及購買信息

A30271934 EH500 IND 200/380V 50Hz SA 
A30272934 EH500 IND 200/380V 60Hz SA 
A30205945 EH500 HC IE3 EU/CN 50HZ 
A30206946 EH500 HC IE3 US 60HZ 
A30205934 EH500 HC IE3 ASIA 50HZ 
A30206934 EH500 HC IE3 ASIA 60HZ 
A30207945 EH500 FX IE3 EU/CN 50HZ 
A30208946 EH500 FX IE3 US 60HZ 
A30207934 EH500 FX IE3 Asia 50HZ 
A30208934 EH500 FX IE3 Asia 60HZ