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- EPX系列半導體真空干泵
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Edwards 有源皮拉尼真空計 (APG)。這些真空計的測量范圍從大氣壓到 1 x 10-4 mbar，規(guī)頭和控制器位于一個緊湊的有源裝置中。皮拉尼系列久經(jīng)考驗，高效，質量，的用戶群，可在眾多應用中成功測量極高壓力和前級壓力。
D02178000 APG-L-150D S/S Active Pirani 愛德華真空規(guī)管應用
需要低成本的波動壓力指示的應用，范圍從大氣壓到 1 x 10-4 mbar。典型應用是監(jiān)視前級線路壓力，保護 AIM 或離子真空計。
D02178000 APG-L-150D S/S Active Pirani 愛德華真空規(guī)管功能和優(yōu)勢
范圍、符合標準的內(nèi)部電源供給 - 可用于標準的直流電源，從 +20 到 +36 V?？沙惺茈妷翰▌?。
驅動電子模塊與規(guī)頭組合 - 可降低系統(tǒng)成本。節(jié)約寶貴的機架空間。
提供中、低壓型號 - APG-M 和 APG-MP，測量范圍從大氣壓到 10-3 mbar。APG-L 的測量范圍從大氣壓到 10-4 mbar。
標準的模擬輸出 0 到 10 V 直流電 - 方便連接到計算機或 PLC。故障輸出指示。
可調整的設定點 - 用于制程控制和互鎖。提供真空狀態(tài)指示。直觀讀取或使用伏特計讀取設定點讀數(shù)。
低輸出阻抗和集成的法拉第屏蔽，可提供高抗干擾性。允許使用長電纜（長可達 100 m）。
可提供防腐蝕產(chǎn)品。
兩種管件類型（AI 和 StSt）和多種法蘭類型，適合用戶的應用。
D02178000 APG-L-150D S/S Active Pirani 愛德華真空規(guī)管數(shù)據(jù)
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壓力范圍 |
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APG-M |
大氣壓至 10-3 mbar |
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APG-L |
大氣壓至 10-4 mbar |
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大過壓 |
6 bar |
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電源供給 |
20 至 36 V 直流（大 1 V 波動） |
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功耗 |
1.5 W（大） |
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輸出信號 |
2 至 10 V 直流 |
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調節(jié) |
設定真空和設定大氣壓 |
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設定點 |
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設定點范圍 |
5% 至 95% 全刻度電壓 |
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固定磁滯 |
7% 全刻度電壓 |
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電平設定分解度 |
±2% 全刻度電壓 |
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額定 |
40 V 直流，100 mA（大） |
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溫度范圍 |
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工作 |
5 至 60 °C |
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存儲 |
0 至 70 °C |
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暴露于真空中的材料 |
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燈絲 |
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APG-M、APG-L |
鍍金鎢 |
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APG-MP |
鉑/銠 (90/10) |
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其他材料 |
鋁 HETF、鎳、氟橡膠、PTFE、不銹鋼 316 |
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內(nèi)部體積 |
NW：6cm3 15mm 外徑：10cm3 |
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重量 |
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鋁 |
120g |
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不銹鋼 |
200g |
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插座接頭 |
8 路 FCC68 兼容 |
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真空接頭管 |
NW 16 或 NW 25 或 15 mm （外徑） |
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標準 |
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電子設計 |
EN 61010-1 |
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電噪抗擾度 |
EN 50081-1，EN 50082-1 |
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阻燃外殼 |
UL94 |
