側(cè)槽高真空泵的工作范圍從氣壓到高真空范圍。該泵是側(cè)槽 泵（壓力范圍 1,000 至 5 hPa，層流）與 Holweck 級(jí)（壓力 范圍 5 至 10-5 hPa，過(guò)渡和分子流）。

圖 4.20: 側(cè)槽真空泵的工作原理

側(cè)槽真空泵的泵系統(tǒng)（圖 4.20）包括一個(gè)轉(zhuǎn)子盤(pán) (1)，其 具有分布在外周和環(huán)狀工作室上的葉片 (2)，以及側(cè)槽 (3)。 側(cè)槽通過(guò)斷路器 (4) 在某一點(diǎn)收窄至圓盤(pán)外形。通過(guò)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn) 子葉片產(chǎn)生的螺旋流從入口流動(dòng)到產(chǎn)生泵送作用。這導(dǎo) 致入口 (5) 和 (6) 之間的壓差。通過(guò)將多個(gè)泵級(jí)串聯(lián)連接 可實(shí)現(xiàn)較低的極限壓力。

在壓力在 1 和 20 hPa 之間時(shí)，泵離開(kāi)層流范圍，且 Holweck 級(jí)負(fù)責(zé)氣體的置換。

為適應(yīng)側(cè)槽泵級(jí)仍然相當(dāng)高的壓力，Holweck 通道在真空側(cè) 很小且間隙很窄。在吸入側(cè)使用較大的通道橫截面，以提高 抽速。