產(chǎn)品
- RV系列雙級旋片泵
- E2M系列雙級旋片泵
- nES系列單級旋片泵
- ES系列單級旋片泵
- nXDS系列干式渦旋泵
- nXLi系列干式真空泵
- EDC系列爪式真空泵
- EOSi系列噴油螺桿泵
- EH系列羅茨真空泵
- EDS系列干式螺桿泵
- GXS系列干式螺桿泵
- GV系列爪式真空泵
- T-Station渦輪分子泵小車
- STP系列渦輪分子泵
- Stokes滑閥泵
- Stokes 6羅茨泵
- D-LAB系列隔膜真空泵
- nEXPT系列分子泵站
- nEXT系列渦輪分子泵
- EDP系列化工爪式干泵
- CXS系列化工螺桿真空泵
- CDX系列化工螺桿真空泵
- HT系列油蒸汽擴(kuò)散泵
- iH系列半導(dǎo)體真空干泵
- iXH系列半導(dǎo)體真空泵
- iXL系列半導(dǎo)體真空干泵
- EPX系列半導(dǎo)體真空干泵
- GX系列半導(dǎo)體干式泵
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
GX600L 愛德華半導(dǎo)體干式真空泵為大修之間零維護(hù)樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。 效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)的泵送能力。
GX600L 愛德華半導(dǎo)體干式真空泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載制程。 模塊化設(shè)計允許用戶對 GX 干泵進(jìn)行配置以適合各個工廠的要求。 緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠(yuǎn)程在內(nèi)的多種安裝選項。
詳情介紹：
製品概要
GX 干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。 效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載制程。 模塊化設(shè)計允許用戶對 GX 干泵進(jìn)行配置以適合各個工廠的要求。 緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠(yuǎn)程在內(nèi)的多種安裝選項。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計量
功能和優(yōu)勢
低運行成本
與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本多可降低 50%
無需預(yù)防性維護(hù)
靈活的安裝選項
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠(yuǎn)程
可以改進(jìn)工具吞吐量
可用的快的負(fù)載鎖定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環(huán)境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
需要恒流閥附件
GX600L 愛德華半導(dǎo)體干式真空泵訂購信息：
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958
GX 干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。 效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載制程。 模塊化設(shè)計允許用戶對 GX 干泵進(jìn)行配置以適合各個工廠的要求。 緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠(yuǎn)程在內(nèi)的多種安裝選項。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計量
功能和優(yōu)勢
低運行成本
與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本多可降低 50%
無需預(yù)防性維護(hù)
靈活的安裝選項
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠(yuǎn)程
可以改進(jìn)工具吞吐量
可用的快的負(fù)載鎖定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環(huán)境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
參數(shù)
| 績效 |
|
| 峰值速度 | 620 m3h-1 |
|
|
365 ft3min-1 |
|
|
10333 lmin-1 |
| 極限壓力 | 7 x 10 -4 mbar |
|
|
5.25 x 10-4 Torr |
|
|
0.07 Pa |
| 700 Torr 排氣壓力下的極限 |
|
| 功率 | 1.6 kW |
| AUC（有源設(shè)備控制器） | 0.05 kW |
| 水 |
|
| 水入口 | 2 slm |
| 氮氣 | 0 slm |
| 安裝詳細(xì)信息 |
|
| 占地面積（不包括排氣裝置） | 0.20 m2 |
| 重量 | 220 kg |
| 進(jìn)氣口連接 | ISO 100 |
| 出氣口連接 | NW25 |
| 極限噪音 | <55 dB(A) |
需要恒流閥附件
GX600L 愛德華半導(dǎo)體干式真空泵訂購信息：
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958
