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iXL120 愛(ài)德華半導(dǎo)體真空干泵-Edwards描述
Edwards iXL120 是緊湊型低能量的 110 m3h-1 干泵，用于水處理和其他清潔工作應(yīng)用。 它可快速抽空負(fù)載鎖定艙室，能耗極低。
Edwards iXL120 是可用于負(fù)載鎖定和清潔應(yīng)用的且輕的泵之一。 其低振動(dòng)和低噪音級(jí)別的使其適合于安裝在機(jī)臺(tái)上或工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。 通過(guò)環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低操作成本并幫助保護(hù)環(huán)境！
iXL120 愛(ài)德華半導(dǎo)體真空干泵-Edwards特性與優(yōu)勢(shì)
的艙室抽空時(shí)間可減少總體平均循環(huán)時(shí)間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗有助于程度減少客戶成本
環(huán)保模式可以在空閑期間多減少 92% 的功耗
35 oC 的水供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
油潤(rùn)滑的軸承可順暢、低振動(dòng)的運(yùn)行，無(wú)需例行維護(hù)工作。
的雙入口布置可實(shí)現(xiàn)高效的前級(jí)輸送和位置選件
零氮吹掃選件無(wú)需氮?dú)夤┙o，從而節(jié)省安裝和運(yùn)行成本
iXL120 愛(ài)德華半導(dǎo)體真空干泵-Edwards參數(shù)
| 產(chǎn)品 | iXL120 |
| 峰值速度 | 110 m3h-1 |
|
|
65 cfm |
|
|
1833 lmin-1 |
| 極限壓力（典型） | 0.013 mbar |
|
|
0.009 Torr |
|
|
1.3 Pa |
| 極限功率 | 0.55 kW |
| 環(huán)保模式功率 | 0.045 kW |
| 進(jìn)氣口連接 |
|
| 垂直 | ISO63 |
| 水平 | NW50 |
| 連接 | NW25 |
| 冷卻水接頭 | 可選 |
| 水流量 | 1 lmin-1 |
| 重量 | 59 kg |
iXL120 愛(ài)德華半導(dǎo)體真空干泵-Edwards訂購(gòu)信息
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭，PN：A54113010
iXL120 E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭，PN：A54113020
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭，PN：A54113610
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭，PN：A54113710
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥，PN：A54113011
iXL120 E 200-460V SPI 1/4 QC 冷卻水接頭流量控制閥，PN：A54113221
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥，PN：A54113611
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥，PN：A5411
iXL 高性能干式真空泵機(jī)組
iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導(dǎo)體和太陽(yáng)能制造市場(chǎng) 涉及的排氣要求。
這些性能的 泵旨在大限度地提高基板吞吐量，同時(shí)盡可能降低功耗、 占地面積和重量。此外，大修間隔期內(nèi)無(wú)須 維護(hù)。
適用于半導(dǎo)體和太陽(yáng)能應(yīng)用的小型 iXL 干泵
iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它可 快速抽空負(fù)載鎖定艙室，能耗極低?？?用于負(fù)載鎖定和清潔應(yīng)用的且輕的泵之一。 其低振動(dòng)和低噪聲級(jí)的使其適合于安裝在機(jī)臺(tái)上或 工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。環(huán)保 模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護(hù)環(huán)境。
的艙室抽空時(shí)間可減少 總體平均循環(huán)時(shí)間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗 有助于大程度減少客戶成本
環(huán)保模式可以在空閑 期間多減少 92% 的功耗
高 35oC 的水 供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極輕， 有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
適用于嚴(yán)苛應(yīng)用的大型 iXL 干泵
iXL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負(fù)載應(yīng)用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗?？捎糜谳p負(fù)載應(yīng)用（如晶圓加工、PVD 和 計(jì)量）的且安靜的泵之一。此產(chǎn)品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎(chǔ)上構(gòu)建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通過(guò)環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備 使用率，從而降低成本并幫助保護(hù)環(huán)境。
的艙室 抽空時(shí)間可減少總體平均循環(huán)時(shí)間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功 耗有助于大程度減少客戶成本
環(huán)保模式可以在 空閑期間多減少 92% 的功耗
高 35oC 的水供給有助于 降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極 輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
適用于 Applied Materials 制程平臺(tái)的 IPUP
IPUP2：緊湊型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它能夠 以低能耗快速抽空負(fù)載鎖定艙室。
IPUP2 小巧輕便，適用于負(fù)載鎖定 和清潔應(yīng)用。其低振動(dòng)和低噪聲級(jí)的使其適合于 在機(jī)臺(tái)上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的 工廠地面空間，同時(shí)大程序地提高泵送性能。環(huán)保模式可在 空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護(hù)環(huán)境。
適合在 Applied Materials 的制程平臺(tái)上使用， 可提高處理能力，同時(shí)減少能耗。
3 萬(wàn)億次循環(huán) MTBF
與原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供適用于現(xiàn)有 IPUP? 的 插入式替換部件
