產(chǎn)品
- RV系列雙級(jí)旋片泵
- E2M系列雙級(jí)旋片泵
- nES系列單級(jí)旋片泵
- ES系列單級(jí)旋片泵
- nXDS系列干式渦旋泵
- nXLi系列干式真空泵
- EDC系列爪式真空泵
- EOSi系列噴油螺桿泵
- EH系列羅茨真空泵
- EDS系列干式螺桿泵
- GXS系列干式螺桿泵
- GV系列爪式真空泵
- T-Station渦輪分子泵小車
- STP系列渦輪分子泵
- Stokes滑閥泵
- Stokes 6羅茨泵
- D-LAB系列隔膜真空泵
- nEXPT系列分子泵站
- nEXT系列渦輪分子泵
- EDP系列化工爪式干泵
- CXS系列化工螺桿真空泵
- CDX系列化工螺桿真空泵
- HT系列油蒸汽擴(kuò)散泵
- iH系列半導(dǎo)體真空干泵
- iXH系列半導(dǎo)體真空泵
- iXL系列半導(dǎo)體真空干泵
- EPX系列半導(dǎo)體真空干泵
- GX系列半導(dǎo)體干式泵
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
SCU-XL800 渦輪分子泵控制器數(shù)字化的 SCU-XL800 渦輪泵控制器與 600 l/s 到 1300 l/s 范圍內(nèi)的 STP 渦輪泵兼容。
SCU-XL800 渦輪分子泵控制器可降低 300 Hz 以下的振動(dòng)級(jí)，這種級(jí)別的振動(dòng)使用機(jī)械隔振器很難消除。
詳情介紹：
概述
數(shù)字化的 SCU-XL800 渦輪泵控制器與 600 l/s 到 1300 l/s 范圍內(nèi)的 STP 渦輪泵兼容。
SCU-XL800 可降低 300 Hz 以下的振動(dòng)級(jí)，這種級(jí)別的振動(dòng)使用機(jī)械隔振器很難消除。
它使用數(shù)字信號(hào)處理器 (DSP) ，可在整個(gè)頻譜范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞毫微米的振動(dòng)級(jí)。此控制器適用于電子顯微鏡檢查、度量學(xué)和光刻系統(tǒng)，在這些系統(tǒng)中，低的振動(dòng)對(duì)于應(yīng)用至關(guān)重要。
功能和優(yōu)勢(shì)
提高了 STP 泵系列的性能
磁力軸承系統(tǒng)可在整個(gè)頻譜范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞毫微米級(jí)振動(dòng)
降低了低頻振動(dòng)幅度，這種級(jí)別的振動(dòng)使用機(jī)械隔振器很難消除
自動(dòng)平衡系統(tǒng) (ABS)
自動(dòng)減振 (AVR)
兼容的型號(hào)
STP-603/1003、STP-A803/A1303C
自動(dòng)識(shí)別適用的泵
預(yù)維護(hù)功能
的維護(hù)定時(shí)
雙級(jí)警告信息
轉(zhuǎn)子不平衡監(jiān)控
后備軸承損壞監(jiān)控
自行診斷功能
數(shù)字化的 SCU-XL800 渦輪泵控制器與 600 l/s 到 1300 l/s 范圍內(nèi)的 STP 渦輪泵兼容。
SCU-XL800 可降低 300 Hz 以下的振動(dòng)級(jí)，這種級(jí)別的振動(dòng)使用機(jī)械隔振器很難消除。
它使用數(shù)字信號(hào)處理器 (DSP) ，可在整個(gè)頻譜范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞毫微米的振動(dòng)級(jí)。此控制器適用于電子顯微鏡檢查、度量學(xué)和光刻系統(tǒng)，在這些系統(tǒng)中，低的振動(dòng)對(duì)于應(yīng)用至關(guān)重要。
功能和優(yōu)勢(shì)
提高了 STP 泵系列的性能
磁力軸承系統(tǒng)可在整個(gè)頻譜范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞毫微米級(jí)振動(dòng)
降低了低頻振動(dòng)幅度，這種級(jí)別的振動(dòng)使用機(jī)械隔振器很難消除
自動(dòng)平衡系統(tǒng) (ABS)
自動(dòng)減振 (AVR)
兼容的型號(hào)
STP-603/1003、STP-A803/A1303C
自動(dòng)識(shí)別適用的泵
預(yù)維護(hù)功能
的維護(hù)定時(shí)
雙級(jí)警告信息
轉(zhuǎn)子不平衡監(jiān)控
后備軸承損壞監(jiān)控
自行診斷功能
符合 SEMI®，具有 CE 標(biāo)記，列于 UL 中
數(shù)據(jù)
| 輸入電壓 | 100-120V±10%，VAC |
| 200-240V ±10% VAC | |
| 輸入電源 | 大 850 VA |
| 輸入頻率 | 50/60 ±2 Hz |
| 輸入相位 | 單相 |
| 主斷路器 | 15 A |
| 正常速度下的輸出電壓 | 大 80 VAC |
| 正常速度下的輸出頻率 | 大 800 Hz |
| 允許的環(huán)境溫度 | °C (°F) |
| 存儲(chǔ)溫度 | °C (°F) |
| 重量 | Kg (lb) |
| 時(shí)間顯示功能 | 內(nèi)部 |
| 通信接口 | RS232C/RS485/ |
| I/O 遠(yuǎn)程 | |
| 監(jiān)視功能 | 可選附件： |
| STP-Link 監(jiān)視軟件 | |
| STP-603/1003 系列 |
