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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:STPH301C 高性能愛德華磁懸浮渦輪分子泵

  • 產(chǎn)品型號:STPH301C
  • 產(chǎn)品廠商:Edwards
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
STPH301C 高性能愛德華磁懸浮渦輪分子泵大的制程靈活性 STPH301C 高性能愛德華磁懸浮渦輪分子泵任意方向操作
詳情介紹:
概述
Edwards 的高性能 STPH301C 渦輪分子泵是為嚴(yán)苛的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計的。這種泵經(jīng)過實(shí)踐檢驗(yàn)的性和的性能可以實(shí)現(xiàn)大的制程靈活性。STPH301C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用,并得到了。

應(yīng)用
金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源,射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔 
科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理:射束線、加速器
放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢
的轉(zhuǎn)子  
更高的氣體吞吐量
大的制程靈活性
無油
低振動
高度
免維護(hù)
可用于嚴(yán)苛制程
使用壽命延長
的控制器設(shè)計  
自動調(diào)整
自行診斷功能
直流電機(jī)驅(qū)動
無電池運(yùn)行
緊湊型設(shè)計  
占地面積小
半機(jī)架控制器
5 軸磁懸浮系統(tǒng)
無污染
少維護(hù)

任意方向操作


數(shù)據(jù)

入口法蘭 ISO100K
KF40
吹掃口 KF10
水冷卻接頭 PT1/4
抽速
  N2 300 ls-1
  H2 200 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 103
加熱時的極限壓力 10-7 Pa

(10-9 Torr)
大連續(xù)壓力 660 Pa

(5 Torr)
大氮?dú)馔掏铝?/span> 2500 sccm
額定速度 48000 rpm
啟動時間 4 分鐘
高入口法蘭溫度 120 °C
輸入電壓 100 至 120 (± 10) V 交流或

200 至 240 (± 10) V 交流
功耗 0.6 kVA
泵重量 15 kg
控制器重量 9 kg

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