產(chǎn)品
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- E2M系列雙級旋片泵
- nES系列單級旋片泵
- ES系列單級旋片泵
- nXDS系列干式渦旋泵
- nXLi系列干式真空泵
- EDC系列爪式真空泵
- EOSi系列噴油螺桿泵
- EH系列羅茨真空泵
- EDS系列干式螺桿泵
- GXS系列干式螺桿泵
- GV系列爪式真空泵
- T-Station渦輪分子泵小車
- STP系列渦輪分子泵
- Stokes滑閥泵
- Stokes 6羅茨泵
- D-LAB系列隔膜真空泵
- nEXPT系列分子泵站
- nEXT系列渦輪分子泵
- EDP系列化工爪式干泵
- CXS系列化工螺桿真空泵
- CDX系列化工螺桿真空泵
- HT系列油蒸汽擴(kuò)散泵
- iH系列半導(dǎo)體真空干泵
- iXH系列半導(dǎo)體真空泵
- iXL系列半導(dǎo)體真空干泵
- EPX系列半導(dǎo)體真空干泵
- GX系列半導(dǎo)體干式泵
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
STPA1603C 愛德華磁懸浮渦輪分子泵
STPA1603C 愛德華磁懸浮渦輪分子泵
詳情介紹：
概述
小巧而的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 的轉(zhuǎn)子進(jìn)行設(shè)計(jì)。它提供極高的吞吐量、高的性和的性能，滿足半導(dǎo)體制程的需要。其半機(jī)架的控制器和緊湊型設(shè)計(jì)可節(jié)省可觀的空間，而其的沉積減少系統(tǒng)提高了性和性能。STPA1603C 已經(jīng)在新的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿足 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要。
應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)
改進(jìn)的性能
更高的氣體吞吐量
高度
免維護(hù)
可用于嚴(yán)苛制程
5 軸磁懸浮系統(tǒng)
無污染
低振動
防腐蝕
可用于嚴(yán)苛制程
使用壽命延長
緊湊型設(shè)計(jì)
占地面積小
半機(jī)架控制器
的控制器設(shè)計(jì)
自動調(diào)整
自行診斷功能
直流電機(jī)驅(qū)動
無電池運(yùn)行
小巧而的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 的轉(zhuǎn)子進(jìn)行設(shè)計(jì)。它提供極高的吞吐量、高的性和的性能，滿足半導(dǎo)體制程的需要。其半機(jī)架的控制器和緊湊型設(shè)計(jì)可節(jié)省可觀的空間，而其的沉積減少系統(tǒng)提高了性和性能。STPA1603C 已經(jīng)在新的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿足 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要。
應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)
改進(jìn)的性能
更高的氣體吞吐量
高度
免維護(hù)
可用于嚴(yán)苛制程
5 軸磁懸浮系統(tǒng)
無污染
低振動
防腐蝕
可用于嚴(yán)苛制程
使用壽命延長
緊湊型設(shè)計(jì)
占地面積小
半機(jī)架控制器
的控制器設(shè)計(jì)
自動調(diào)整
自行診斷功能
直流電機(jī)驅(qū)動
無電池運(yùn)行
數(shù)據(jù)
| 入口法蘭 | ISO200F |
| KF40 | |
| 吹掃口 | KF16 |
| 水冷卻接頭 | PT1/4 |
| 抽速 |
|
| N2 | 1600 ls-1 |
| H2 | 1200 ls-1 |
| 壓縮比 |
|
| N2 | >108 |
| H2 | >7 x 103 |
| 加熱時(shí)的極限壓力 | 10-7 Pa |
| 大允許前級壓力 | 266 Pa |
|
|
(2 Torr) |
| 大氮?dú)馔掏铝?/span> | 2500 sccm |
| 額定速度 | 36500 rpm |
| 啟動時(shí)間 | 7 分鐘 |
| 固定位置 | 任意 |
| 水冷卻流量 | 2 lmin-1 |
| 溫度 | 5-25 °C |
| 壓力 | 0.3 MPa |
| 的吹掃氣體流量 | 20 sccm |
| 輸入電壓 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
| 功耗 | 0.85 kVA |
| 泵重量 | 35 kg |
| 控制器重量 | 9 kg |
