產(chǎn)品
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- E2M系列雙級旋片泵
- nES系列單級旋片泵
- ES系列單級旋片泵
- nXDS系列干式渦旋泵
- nXLi系列干式真空泵
- EDC系列爪式真空泵
- EOSi系列噴油螺桿泵
- EH系列羅茨真空泵
- EDS系列干式螺桿泵
- GXS系列干式螺桿泵
- GV系列爪式真空泵
- T-Station渦輪分子泵小車
- STP系列渦輪分子泵
- Stokes滑閥泵
- Stokes 6羅茨泵
- D-LAB系列隔膜真空泵
- nEXPT系列分子泵站
- nEXT系列渦輪分子泵
- EDP系列化工爪式干泵
- CXS系列化工螺桿真空泵
- CDX系列化工螺桿真空泵
- HT系列油蒸汽擴散泵
- iH系列半導(dǎo)體真空干泵
- iXH系列半導(dǎo)體真空泵
- iXL系列半導(dǎo)體真空干泵
- EPX系列半導(dǎo)體真空干泵
- GX系列半導(dǎo)體干式泵
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
STP-XA4503C 愛德華磁懸浮渦輪分子泵此泵基于新的設(shè)計，提供功能以改善熱管理，從而增強在嚴苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。
STP-XA4503C 愛德華磁懸浮渦輪分子泵具有很寬的制程范圍（從高真空到高流量要求），對氣體都具有更高的吞吐量。
詳情介紹：
製品概要
STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍（從高真空到高流量要求），對氣體都具有更高的吞吐量。
此泵基于新的設(shè)計，提供功能以改善熱管理，從而增強在嚴苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。
它設(shè)計成既可以處理溫和的應(yīng)用，也可以處理嚴苛的應(yīng)用，例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。
功能和優(yōu)勢
的轉(zhuǎn)子設(shè)計
改進的氬氣性能
同類產(chǎn)品中抽速高
寬的制程范圍
在較低壓力下具有較高的吞吐量
免維護
可用于嚴苛制程
5 軸磁懸浮系統(tǒng)
無污染
低振動
高度
經(jīng)優(yōu)化的溫度分配
低沉積
內(nèi)置冷卻機械裝置
更高的氣體吞吐量
使用壽命延長
符合標準
STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍（從高真空到高流量要求），對氣體都具有更高的吞吐量。
此泵基于新的設(shè)計，提供功能以改善熱管理，從而增強在嚴苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。
它設(shè)計成既可以處理溫和的應(yīng)用，也可以處理嚴苛的應(yīng)用，例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。
功能和優(yōu)勢
的轉(zhuǎn)子設(shè)計
改進的氬氣性能
同類產(chǎn)品中抽速高
寬的制程范圍
在較低壓力下具有較高的吞吐量
免維護
可用于嚴苛制程
5 軸磁懸浮系統(tǒng)
無污染
低振動
高度
經(jīng)優(yōu)化的溫度分配
低沉積
內(nèi)置冷卻機械裝置
更高的氣體吞吐量
使用壽命延長
符合標準
列于 UL 中，具有 CE 標記，符合 SEMI® S2
數(shù)據(jù)
| 入口法蘭尺寸 | VF300、ISO320F、VG350 |
| 前級抽氣口尺寸 | KF40 |
| 抽速 |
|
| N2 | 3800 至 4300 ls-1 |
|
|
（取決于具體型號） |
| H2 | 2500 ls-1 |
| 壓縮比 |
|
| N2 | >108 |
| H2 | 6 x 103 |
| 極限壓力 | 10-7 Pa / 10-9 mbar |
| 大允許前級壓力 | 266 Pa / 2.66 mbar |
|
大允許氣體流量 N2 （僅水冷卻） |
2800 sccm |
|
|
4.73 Pam3s-1 |
|
大允許氣體流量 Ar （僅水冷卻） |
2150 sccm |
|
|
3.63 Pam3s-1 |
| 額定速度 | 24000 rpm |
| 運轉(zhuǎn)到 90% 額定速度的時間 | 12 分鐘 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 水冷卻 |
|
| 流量 | 3 lmin-1 |
| 溫度 | 5 – 25 °C / 41 – 77 °F |
| 壓力 | 0.3 MPa |
| 的吹掃氣體流量 N2 | 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1 |
| 輸入電壓 | 200 – 240 ±10 % V 交流 |
| 大輸入功率（不帶 TMS） | 1.5 KVA |
