產(chǎn)品
- RV系列雙級旋片泵
- E2M系列雙級旋片泵
- nES系列單級旋片泵
- ES系列單級旋片泵
- nXDS系列干式渦旋泵
- nXLi系列干式真空泵
- EDC系列爪式真空泵
- EOSi系列噴油螺桿泵
- EH系列羅茨真空泵
- EDS系列干式螺桿泵
- GXS系列干式螺桿泵
- GV系列爪式真空泵
- T-Station渦輪分子泵小車
- STP系列渦輪分子泵
- Stokes滑閥泵
- Stokes 6羅茨泵
- D-LAB系列隔膜真空泵
- nEXPT系列分子泵站
- nEXT系列渦輪分子泵
- EDP系列化工爪式干泵
- CXS系列化工螺桿真空泵
- CDX系列化工螺桿真空泵
- HT系列油蒸汽擴散泵
- iH系列半導體真空干泵
- iXH系列半導體真空泵
- iXL系列半導體真空干泵
- EPX系列半導體真空干泵
- GX系列半導體干式泵
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
STP-iXA2206C ISO250F 愛德華渦輪分子泵為磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機載控制器內(nèi)（成熟的 STP-iXA2205 系列的新）。
STP-iXA2206C ISO250F 愛德華渦輪分子泵該泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。
詳情介紹：
概要
STP-iXA2206 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機載控制器內(nèi)（成熟的 STP-iXA2205 系列的新）。 該泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應用工具的一體化解決方案。
用途
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送和站
特性與優(yōu)勢
緊湊型設計，包括集成的控制器
性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
可以配置為運行腐蝕性制程
大氣流適用于在 15-25 °C 之間的水冷卻溫度下連續(xù)泵送 N2 或 Ar 氣體，并且使用前級泵（10,000 l/min 大小）的情況。 它會隨條件變化而變化。
STP-iXA2206 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機載控制器內(nèi)（成熟的 STP-iXA2205 系列的新）。 該泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應用工具的一體化解決方案。
用途
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送和站
特性與優(yōu)勢
緊湊型設計，包括集成的控制器
性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
可以配置為運行腐蝕性制程
數(shù)據(jù)
| 入口法蘭尺寸 | ISO250F/VG250/ICF305 |
| 前級抽氣口尺寸 | KF40 |
| 抽速 N2/Ar | 2200/1900 ls-1 |
| 壓縮比 N2/H2 | >108 / 1 x 104 |
| 極限壓力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
| 允許的前級壓力 | 266 Pa (2 Torr) |
| 大氣流 N2 （僅水冷） | 3000 sccm |
|
|
(5.07 Pam3s-1) |
| 大氣流 Ar （僅水冷） | 1400 sccm |
|
|
(2.36 Pam3s-1) |
| 額定速度 | 27000 rpm |
| 運轉(zhuǎn)到 90% 額定速度的時間 | <8 分鐘 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 輸入電壓 | 200-240 V |
| 大輸入功率（不帶 TMS） | 1200 VA |
| 重量 | 62 kg |
大氣流適用于在 15-25 °C 之間的水冷卻溫度下連續(xù)泵送 N2 或 Ar 氣體，并且使用前級泵（10,000 l/min 大小）的情況。 它會隨條件變化而變化。
